求助氣浮導軌資源

遨游者

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  L% e; @0 _" p9 M7 Chttps://k.sina.cn/article_1783631265_m6a500da103300xlo3.html

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這又不是什么高技術，淘寶上一搜就有。

jumbone

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青島晨芯

jumbone 發表于 2023-2-6 17:28
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青島晨芯

jumbone 發表于 2023-2-6 17:28
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大蘿卜

氣浮導軌基于氣體動靜壓效應，實現無摩擦和無振動的平滑移動。它具有運動精度高、清潔無污染等特點。因其誤差均化作用，可用比較低的制造精度來獲得較高的導向精度。通常與伺服驅動，傳感器組成閉環系統，實現高精度位移定位。氣浮導軌在測量儀器、精密機械中得到了廣泛的應用

大蘿卜

超精密工作臺常用導軌有滾動導軌、靜壓導軌等，滾動導軌的應用己經有好多年，滾動導軌的運動精度達到微米級，摩擦因數可以降低到0.002至0.003。滾動導軌的優點是滾動摩擦阻力小，沒有滑動導軌的爬行、浮動現象，但滾動導軌的摩擦大、抗震性差、運動不平穩、壽命低，在應用方面有所欠缺。氣浮導軌相對于普通滾動導軌有著如下的優點 [2]  ：
1 j& @1 F& Q3 v* i(1)導軌面間是氣體潤滑，其摩擦系數極小(約為0.0005左右)，故驅動功率可大大降低；
/ Y) ~; f4 C/ w* S" v3 r% ^(2)因系非接觸性摩擦，故導軌磨損極小，壽命長，能長期保持制造精度，減少了維修工作量；
(3)氣膜具有誤差均化作用，可提高導軌運動精度；
(4)氣膜厚度幾乎不受速度的影響，即使在極低速時也不會產生爬行，運動平穩；
1 F0 @7 r; h' c; O5 I(5)幾乎不產生熱量，不會發生粘度變化，無需添加冷卻措施。

大蘿卜

氣浮導軌按工作原理分為兩種基本類型：空氣動壓導軌和空氣靜壓導軌。動壓型如圖1左圖所示，兩個面相對移動且間隙呈楔形，沿移動方向間隙逐漸變小。由于相對移動，氣體因其黏性作用，被拖帶壓入楔形間隙中，從而產生壓力，構成動壓懸浮。靜壓型如圖1右圖所示，是將外部的壓縮氣體，通過節流孔導入間隙中，借助其靜壓使之懸浮起來，節流孔的作用是當間隙變化時，調整間隙內的壓力，從而使導軌具有剛度。氣浮導軌是由導軌和溜板組成的滑動副，導軌和溜板之間為氣膜潤滑。
圖1
, R5 y) R; b, v& I4 ]3 ]- p" R圖1
圖2
& C  n7 E3 Z; U/ A% R; J8 K& \圖2
' i7 V6 s( E1 t! @0 _, B) X開式靜壓導軌如圖2、圖3所示，圖2左圖為平面型，圖2右圖為平-V型，圖3左圖為雙三角型，圖3右圖為平面回轉型，它們具有如下特點：
圖3
  q) k& t, |$ A; v2 s) L, C圖3
. t2 j) z( D7 B(1)承受正向載荷的能力很大，承受偏載以及顛覆力矩的能力差，不能夠承受反向載荷；(2)導軌結構簡單，制造以及調整方便；(3)在當導軌尺寸確定以后，氣腔壓力就只由載荷決定，所以小載荷時氣膜剛度低。
  k- Z# w, d% v綜上所述，開式靜壓導軌適用于偏載荷及顛覆力矩小，載荷均勻，水平放置或者僅有小角度傾角的場合。
; ~+ i: F) C' W" |& K; a: K閉式靜壓導軌的運動件，除在其運動方向具有一個自由度外，其余運動自由度都由導軌的結構所約束，故屬于幾何封閉。圖4所示為閉式靜壓導軌常用的幾何形式，圖4中左1為側導軌在外側的平導軌，左2為側導軌在同一導軌兩側的平導軌，左3為平面回轉導軌，左4為菱形導軌。
- F! D' ]2 p$ ?3 V/ y圖4
圖4
圖4中左1和左2的平導軌雖有相同的氣腔數，但對于側面間隙受熱變形的影響，后者比前者小，且克服了采用可變節流器時側面氣腔過長的缺點。圖4中左3的菱形導軌特點是加工面少，適用于載荷不太大，運動件不太長或回轉工作臺場合。
閉式靜壓導軌具有如下特點：
3 _7 b; z" H% k9 [9 p% [(1)能夠承受正反向的載荷，能夠承受偏載荷以及顛覆力矩的能力比較強；
(2)氣膜剛度較高，所以對導軌本身的結構的剛度要求比較高；
% \" T. X2 A* X; X! X" i! R0 x(3)導軌制造及調整比較復雜；
8 J( y5 k1 H- q' p+ `3 H8 J(4)為了減少功率的損耗，閉式靜壓導軌一般是采用不等面積氣腔的結構。
同時氣浮導軌按安裝特征可以分為平面封閉型、圓筒封閉型、重力平衡型和真空預載荷型。


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平面封閉型 重力平衡型 真空預載荷型 圓筒封閉型
* H; Z8 r1 P8 V/ K(1)平面封閉型：在氣浮方向上設計一對方向相對的兩個氣膜，形成氣膜預加載。適用于高精度、高剛度、大負載的導軌。
- p6 v! I' c" S9 N! ^) n& `(2)重力平衡型：結構簡單，加工方便，但剛度低，用于負載變動較小的場合；
(3)真空預載荷型：用壓力氣體產生浮力，形成懸浮狀態，用真空發生裝置產生真空以提高剛度，由于真空的吸附作用，使得這種止推導軌具有雙向的剛度，配上x、y兩向驅動，可用單層結構，實現二維運動，即開始結構具有閉式特點，提高了工作臺的工藝性能；
3 a" t3 A. C. z) A（4)圓筒封閉型：該導軌結構簡單，但加工復雜，圓柱形導軌得圓柱度和溜板的間隙由機械加工決定，對加工工藝要求較高。而承載能力較小，剛度差，常用于輕載。
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