納米位移臺研發(fā)

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棲格瑪 發(fā)表于 2022-3-19 21:31
9 l2 {; h5 f# `. W6 x8 S, K結構和你的類似，只是細節(jié)不一樣搜索日本駿河可以看到

這個日本駿河也是MISUMI旗下的？

老菜鳥168

之前搞過亞微米，幾百納米那種，壓電陶瓷+氣浮平臺，樓主這個看來要更難一點。

xfxywzy

我最近也在找類似的產品，應用場景跟你類似，50nm的分辨率，但我們希望能做到1nm的分辨率。目前市面上可以參考PI這家廠商的產品，我們選了一款分辨率0.1nm,行程15um的壓電軸，同時現在直線電機現在也可以做到1nm的步進，我也是在學習和了解中，馬上準備拿樣品來測試。

xfxywzy

xfxywzy 發(fā)表于 2023-3-2 15:17
我最近也在找類似的產品，應用場景跟你類似，50nm的分辨率，但我們希望能做到1nm的分辨率。目前市面上可以 ...

3 u- |" R: ^( k' R& l位移臺的精度，目前我知道有可以做到1nm步進的 行程100mm. 目前我們剛拿到一個樣品在研究，品牌PI的。一套大概10W RMB。

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這類我們都用壓電臺子了，光學檢測行業(yè)

清風烈月

磁驅平面電機
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納米位移臺20年前我們所就做過，對使用環(huán)境要求很高，傳動用的是摩擦傳動，全部是氣體靜壓的。常規(guī)環(huán)境下不能實現納米精度。