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測晶圓溫度分布均勻性的溫度傳感器適合用哪一款，可不可以按要求定制？

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1#
發表于 2025-3-22 01:02:08 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
測晶圓溫度分布均勻性的溫度傳感器適合用哪一款，可不可以按要求定制？

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2#
發表于 2025-3-22 13:59:33 | 只看該作者
我之前還是貼熱電偶，然后熱成像輔助
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3#
發表于 2025-3-22 16:28:43 | 只看該作者
熱成像相機
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4#
發表于 2025-3-22 21:17:44 | 只看該作者
要測得準也只有熱電偶一個選項吧
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