馬上讀博了，有前輩了解MEMS和MOEMS么？

怕瓦落地2011

樓主不厚道，不弄中文非得要搞英文縮寫，搞得大家都去膜拜998了

qdtruck

看著挺拗口的！高手在哪里？給翻一下.謝謝！

舟航

哈哈，樓主，都讀博了，還問這個問題，搜索下這方面的論文看看，大概就了解了。

大概有個山頭吧，都是那幾個院士，哈哈，去年又新加了一個院士，還是挺猛的，高校、研究所玩玩，玩概念階段。個人見解吧，有條件玩玩還是挺有意思的，關(guān)鍵看你老板了。

愛飛兒

樓主你 不直接翻譯一下嗎？并不是每個人對外語都很強(qiáng)悍的

lxq3235

Oh，It's very good!

潑墨

果然大部分社友只關(guān)注傳統(tǒng)機(jī)械。。。。。。

鳳舞九天nn

學(xué)習(xí)。。。。

鳳舞九天nn

離博士很遙遠(yuǎn)。。。。

鬼魅道長

樓主，以前我曾經(jīng)就關(guān)于MEMS的一些問題開過一個討論帖，樓主既然要學(xué)這個，有木興趣參加？
原帖地址：http://bbs.cmiw.cn/forum.php?mod ... p;extra=&page=1

CHEXINGNAOSHI

linqingshan 發(fā)表于 2012-5-2 16:58
什么是MEMS和MOEMS？

& s/ Q* c7 r% K! |9 kMEMS是微機(jī)電系統(tǒng)（Micro-Electro-Mechanical Systems）的英文縮寫。MEMS是美國的叫法，在日本被稱為微機(jī)械，在歐洲被稱為微系統(tǒng)，它是指可批量制作的，集微型機(jī)構(gòu)、微型傳感器、微型執(zhí)行器以及信號處理和控制電路、直至接口、通信和電源等于一體的微型器件或系統(tǒng)。MEMS是隨著半導(dǎo)體集成電路微細(xì)加工技術(shù)和超精密機(jī)械加工技術(shù)的發(fā)展而發(fā)展起來的，目前MEMS加工技術(shù)還被廣泛應(yīng)用于微流控芯片與合成生物學(xué)等領(lǐng)域，從而進(jìn)行生物化學(xué)等實驗室技術(shù)流程的芯片集成化