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光學輪廓儀的測量精度怎樣，與接觸式輪廓儀比較呢？

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1#
發表于 2014-3-8 14:31:18 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
請教，光學輪廓儀的測量精度怎樣？與接觸式輪廓儀比較呢？
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2#
發表于 2018-8-6 14:59:05 | 只看該作者
我又來賺威望啦！！！
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3#
發表于 2019-8-27 10:32:07 | 只看該作者
目前光學測量分辨率能達到納米級別
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