拋光液的主要產品可以按主要成分的不同分為以下幾大類:金剛石拋光液(多晶金剛石拋光液、單晶金剛石拋光液和納米金剛石拋光液)、氧化硅拋光液(即CMP拋光液)、氧化鈰拋光液、氧化鋁拋光液和碳化硅拋光液等幾類。 [2] + [: e4 P: F" C7 N
多晶金剛石拋光液3 t4 g7 e1 a' L* B" o f
多晶金剛石拋光液以多晶金剛石微粉為主要成分,配合高分散性配方,可以在保持高切削率的同時不易對研磨材質產生劃傷。
( K+ E6 w8 P. M主要應用于藍寶石襯底的研磨、LED芯片的背部減薄、光學晶體以及硬盤磁頭等的研磨和拋光。
" Q# z4 T9 s, S' K. L$ }9 m氧化硅拋光液( ^( w' _( g" W
氧化硅拋光液(CMP拋光液)是以高純硅粉為原料,經特殊工藝生產的一種高純度低金屬離子型拋光產品。1 O W! `$ {) h7 D$ X% V) A# e
廣泛用于多種材料納米級的高平坦化拋光,如:硅晶圓片、鍺片、化合物半導體材料砷化鎵、磷化銦,精密光學器件、藍寶石片等的拋光加工。. E+ Z+ B6 y7 c; ~4 V9 V
氧化鈰拋光液
% c& L) t7 D! C/ V& j氧化鈰拋光液是以微米或亞微米級CeO2為磨料的氧化鈰研磨液,該研磨液具有分散性好、粒度細、粒度分布均勻、硬度適中等特點。; i2 W# v4 a* N7 r' G
適用于高精密光學儀器,光學鏡頭,微晶玻璃基板,晶體表面、集成電路光掩模等方面的精密拋光。
5 ?8 M, |+ e) i* l$ u氧化鋁和碳化硅拋光液1 N: \3 Q O$ }# u: k5 N7 a1 F" H
是以超細氧化鋁和碳化硅微粉為磨料的拋光液,主要成分是微米或亞微米級的磨料。
, ^0 M( T' W# n, v" f0 q. h7 B9 G5 y+ H主要用于高精密光學儀器、硬盤基板、磁頭、陶瓷、光纖連接器等方面的研磨和拋光。 |