拋光液的主要產品可以按主要成分的不同分為以下幾大類:金剛石拋光液(多晶金剛石拋光液、單晶金剛石拋光液和納米金剛石拋光液)、氧化硅拋光液(即CMP拋光液)、氧化鈰拋光液、氧化鋁拋光液和碳化硅拋光液等幾類。 [2] , h2 I$ t, L# K+ |: e
多晶金剛石拋光液
% b( N( Y& t! l' r' p. H多晶金剛石拋光液以多晶金剛石微粉為主要成分,配合高分散性配方,可以在保持高切削率的同時不易對研磨材質產生劃傷。9 @( Y `% T- |, ^) q
主要應用于藍寶石襯底的研磨、LED芯片的背部減薄、光學晶體以及硬盤磁頭等的研磨和拋光。
4 U2 |& u) {/ y. C0 [+ K& h氧化硅拋光液
+ q8 E, N% L! |, w) T, s4 N3 o氧化硅拋光液(CMP拋光液)是以高純硅粉為原料,經特殊工藝生產的一種高純度低金屬離子型拋光產品。
$ z5 e9 P' H. |- G9 A廣泛用于多種材料納米級的高平坦化拋光,如:硅晶圓片、鍺片、化合物半導體材料砷化鎵、磷化銦,精密光學器件、藍寶石片等的拋光加工。; A& Q4 P1 z5 ^; \% Q8 S
氧化鈰拋光液* b4 ~8 Q u2 N, d$ ?. S
氧化鈰拋光液是以微米或亞微米級CeO2為磨料的氧化鈰研磨液,該研磨液具有分散性好、粒度細、粒度分布均勻、硬度適中等特點。
" A& |) [4 E5 h- T, P; U適用于高精密光學儀器,光學鏡頭,微晶玻璃基板,晶體表面、集成電路光掩模等方面的精密拋光。- }' n, N4 q" Q( R) i/ v; |
氧化鋁和碳化硅拋光液/ R: T. d- A' V, t4 o1 j
是以超細氧化鋁和碳化硅微粉為磨料的拋光液,主要成分是微米或亞微米級的磨料。( H) n. t" `2 B, t& l
主要用于高精密光學儀器、硬盤基板、磁頭、陶瓷、光纖連接器等方面的研磨和拋光。 |