求助大佬，氣浮平臺的設計

一路向北ck

請教各位大佬，是否有圖片中的高精度氣浮平臺的設計經驗

一路向北ck

目前行業內很多此類臺子，想學習一下

一路向北ck

也想和大家一起交流交流

大白小白

lz先說說自己的理解。

沒運氣的小男孩

在之前的項目中接觸過一些，談不上什么經驗。一般這種氣浮臺采用直線電機驅動，對環境和氣源有一定要求；承載能力可以按照2kg/cm^2估算；氣膜厚度一般控制在10um左右，氣膜剛度一般通過增加預載的方式來調整；節流孔通常有小孔節流和多孔材料兩種；國外品牌Aerotech、Newway等。樓主如果有詳細需求可以具體探討一下。

一路向北ck

之前我設計一臺設備，用的是NewWay的標準空氣軸承塊（多孔材料），這種空氣軸承塊需要用膠粘結，對裝配要求較高，第一次做出來的精度不高，達不到同行做出來的重復定位精度0.1-0.3um。
且分析我一樓圖片的這種單軸的機臺結構比較緊湊，看著不像用的空氣軸承塊。
猜測用的小孔節流的方案，想請教一下有沒有這方面的經驗可以交流分享的

一路向北ck

大白小白 發表于 2022-5-24 20:57
lz先說說自己的理解。

感謝回復！我的經驗如下

一路向北ck

沒運氣的小男孩 發表于 2022-5-24 21:28
在之前的項目中接觸過一些，談不上什么經驗。一般這種氣浮臺采用直線電機驅動，對環境和氣源有一定要求；承 ...

感謝回復！
多孔材料的機臺我設計過一臺，精度沒達到預期。
目前想了解一下小孔節流的方案，想具體請教一下，能否留個聯系方式。

1027726686

這種微型氣浮平臺確實用直線電機更好一些，直線電機建議用無鐵芯，光柵尺分辨率根據速度匹配，環境溫度需要控制的很好建議增加溫補，不然影響精度。材料盡可能統一化，傳動及光柵尺的位置盡量符合阿貝原則。

一路向北ck

1027726686 發表于 2022-5-25 10:44
這種微型氣浮平臺確實用直線電機更好一些，直線電機建議用無鐵芯，光柵尺分辨率根據速度匹配，環境溫度需要 ...

感謝分享！
你是做運動平臺這塊的嗎？