求助大佬，氣浮平臺的設(shè)計(jì)

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研發(fā)三坐標(biāo)，有共通之處。

沒運(yùn)氣的小男孩

一路向北ck 發(fā)表于 2022-5-25 09:18
之前我設(shè)計(jì)一臺設(shè)備，用的是NewWay的標(biāo)準(zhǔn)空氣軸承塊（多孔材料），這種空氣軸承塊需要用膠粘結(jié)，對裝配要求 ...

單獨(dú)從圖片上無法準(zhǔn)確判斷采用何種氣浮軸承。如果單純重復(fù)定位精度0.1~0.3um，兩種軸承其實(shí)都可以實(shí)現(xiàn)，加工和裝配工藝是一方面，樓上說的溫度補(bǔ)償也是非常重要的一點(diǎn)，還有測量環(huán)境，材料選擇，光柵尺的選擇，控制算法，需要多方面考慮。QQ：564384682